FLS 106 IC扫描仪是一个4轴定位系统，允许ICR近端探头沿三个线性轴移动，并允许ICR在其电子组件中的IC上方的一个轴上旋转。

ICR近场探头允许测量高达6GHz的高频磁场或电场，测量分辨率为50至100µm。

IC扫描仪可以通过几个简单的步骤进行表面扫描和ESD或EFT抗扰度测试。

交货范围

1x FLS 106 IC，4轴定位系统

1x CS-Scanner，扫描系统软件/USB

1x GND 25，接地平面

1x DM-CAM，数字显微镜相机

1x Rotary unit，旋转装置

1x DM-CAM holder.3，显微镜相机支架

1x FLS 106 IC acc，扫描仪配件

推荐选件： ICR探头，近场微探头系列中选择

ICI 01 L-EFT set，集成电路Langer脉冲电磁注入套件

XF Product family，30 MHz-6 GHz近场探头套件

SX1 set，1-6 GHz近场探头套件

PA 306 SMA，100 kHz至6 GHz的前置放大器

SH 01，扫描仪探头支架

UH DUT set，扫描仪通用支架套件

技术参数